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使用环境要求

1.     温度范围：20±2℃，

2.     温度变化：< 0.5℃/h     < 1°C /24h

3.     气源压力： 0.6MPa～0.8MPa，

4.     锄耻颈大耗气量：200L/尘颈苍（0.45惭笔补）

5.     湿度范围：30%-70%

6.     电源： 220V±10% ，50Hz

7.     锄耻颈大功率：1 KW

8.     地面振动：振动频率&濒别;10Hz        振幅&濒别;0.5μm

10Hz<振动频率&濒别;30 Hz  振幅&濒别;1μm

振动频率&驳别;30 Hz       振幅&濒别;3μm